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Mikro-
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© Bosch GmbH
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Sensoren von Bosch
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Die Sensorfertigung von Bosch feiert zum Jahreswechsel doppeltes Jubiläum: Zum einen läuft der 300-millionste Sensor
in Mikrosystemtechnik vom Band, zum anderen liefert das Unternehmen den 150-millionsten mikromechanischen
Beschleunigungssensor aus.
Mit der Mikrosystemtechnik lassen sich extrem kleine, leichte und robuste Sensoren wirtschaftlich herstellen. Dazu
wird der Sensor-Chip mit den nur wenige hundert Mikrometer großen beweglichen Messstrukturen direkt aus einem
Silizium-Halbleiter geformt. In der Regel fasst ein Sensormodul das Silizium-Sensorelement und die elektronische
Schaltung, beispielsweise zur Signalauswertung oder zur Eigendiagnose, in einem Bauteil zusammen.
Bosch ist heute nach eigenen Angaben einer der weltweit größten Hersteller dieser Sensor-Technik. Die Produktion
startete 1994 mit mikromechanischen Drucksensoren für die Motorsteuerung; Luftmassenmesser gingen 1995 in Serie, 1997
folgten Beschleunigungssensoren, beispielsweise zur Auslösung von Rückhaltesystemen und zur Steuerung des ABS. Für das
Elektronische Stabilitäts-Programm (ESP) und für Navigationsgeräte brachte der Automobilzulieferer 1998 mikromechanische
Drehratensensoren auf den Markt, 2001 stellte das Unternehmen erstmals einen Sensor vor, der einen drohenden
Fahrzeugüberschlag frühzeitig erkennt.