Bosch: Doppel-Produktionsjubiläum bei Mikro-Sensoren

Die Sensorfertigung von Bosch feiert zum Jahreswechsel doppeltes Jubiläum: Zum einen läuft der 300-millionste Sensor in Mikrosystemtechnik vom Band, zum anderen liefert das Unternehmen den 150-millionsten mikromechanischen Beschleunigungssensor aus.

Mit der Mikrosystemtechnik lassen sich extrem kleine, leichte und robuste Sensoren wirtschaftlich herstellen. Dazu wird der Sensor-Chip mit den nur wenige hundert Mikrometer großen beweglichen Messstrukturen direkt aus einem Silizium-Halbleiter geformt. In der Regel fasst ein Sensormodul das Silizium-Sensorelement und die elektronische Schaltung, beispielsweise zur Signalauswertung oder zur Eigendiagnose, in einem Bauteil zusammen.

Bosch ist heute nach eigenen Angaben einer der weltweit größten Hersteller dieser Sensor-Technik. Die Produktion startete 1994 mit mikromechanischen Drucksensoren für die Motorsteuerung; Luftmassenmesser gingen 1995 in Serie, 1997 folgten Beschleunigungssensoren, beispielsweise zur Auslösung von Rückhaltesystemen und zur Steuerung des ABS. Für das Elektronische Stabilitäts-Programm (ESP) und für Navigationsgeräte brachte der Automobilzulieferer 1998 mikromechanische Drehratensensoren auf den Markt, 2001 stellte das Unternehmen erstmals einen Sensor vor, der einen drohenden Fahrzeugüberschlag frühzeitig erkennt.