Jubiläum im Kleinen: 200 Millionen mikromechanische Sensoren von Bosch

	In Mikrotechnik:	© Bosch GmbH
	Überschlagsensor von Bosch

Bei Bosch lief kürzlich der 200-millionste mikromechanische Sensor vom Band. Allein im Jahr 2002 wird Bosch nach eigenen Angaben voraussichtlich über 70 Millionen Sensoren in Mikrosystemtechnik an die Automobilhersteller liefern - und damit einer der weltweit größten Hersteller dieser Sensor-Technik sein. Annähernd die Hälfte aller von Bosch gefertigten Sensoren sind derzeit schon mikromechanisch aufgebaut.

Mit der Mikrosystemtechnik lassen sich extrem kleine, leichte und robuste Sensoren wirtschaftlich herstellen. Dazu wird der Sensor-Chip mit den nur wenige hundert Mikrometer großen beweglichen Messstrukturen direkt aus einem Silizium-Halbleiter geformt. Die Sensoren vereinen in der Regel das Silizium-Sensorelement und elektronische Schaltungen, beispielsweise zur Signalauswertung oder zur Eigendiagnose, in einem Bauteil.

Bosch nahm 1994 die Produktion mikromechanischer Drucksensoren für die Motorsteuerung auf. Luftmassenmesser in Mikrosystemtechnik gingen 1995 in Serie, 1997 folgten Beschleunigungssensoren, beispielsweise zur Steuerung von Rückhaltesystemen und ABS. Für das Elektronische Stabilitätsprogramm (ESP) und für Navigationsgeräte brachte das Unternehmen 1998 mikromechanische Drehratensensoren auf den Markt, 2001 stellten die Stuttgarter als Weltneuheit einen Sensor vor, der einen drohenden Fahrzeugüberschlag frühzeitig erkennt. Er ist Teil eines neuen Konzepts, das geeignete Rückhaltesysteme rechtzeitig aktiviert und somit das Verletzungsrisiko verringert.